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2025云南晶體大會前瞻|山東大學(xué)楊祥龍:8/12英寸碳化硅單晶襯底材料的研究進(jìn)展

日期:2025-09-18 閱讀:323
核心提示:9月26-28日,“2025新一代半導(dǎo)體晶體材料技術(shù)及應(yīng)用大會”將于云南昆明舉辦。屆時,山東大學(xué)/教授、廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司/技術(shù)總監(jiān)楊祥龍將出席會議,并帶來《8/12英寸碳化硅單晶襯底材料的研究進(jìn)展》的主題報(bào)告,敬請關(guān)注!

 頭圖

9月26-28日,“2025新一代半導(dǎo)體晶體材料技術(shù)及應(yīng)用大會”將于云南昆明舉辦。屆時,山東大學(xué)/教授、廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司/技術(shù)總監(jiān)楊祥龍將出席會議,并帶來《8/12英寸碳化硅單晶襯底材料的研究進(jìn)展》的主題報(bào)告,敬請關(guān)注!

41-楊祥龍 

嘉賓簡介

楊祥龍,山東大學(xué)教授、博導(dǎo),任廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司技術(shù)總監(jiān),山東省泰山學(xué)者青年專家。長期從事寬禁帶半導(dǎo)體SiC晶體生長和缺陷分析研究,擁有豐富的單晶生長及缺陷研究的理論基礎(chǔ)和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。主持和參與多項(xiàng)國家和省部級科研項(xiàng)目,發(fā)表論文60余篇,申請/授權(quán)專利40余項(xiàng),參與制訂團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)4項(xiàng)。 

單位簡介

廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司成立于2018年9月,是一家從事碳化硅單晶材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的國家高新技術(shù)企業(yè),榮獲國家級專精特新重點(diǎn)"小巨人"稱號。公司創(chuàng)業(yè)初期以山東大學(xué)多年來研發(fā)的最新技術(shù)成果為基礎(chǔ),同山東大學(xué)徐現(xiàn)剛教授團(tuán)隊(duì)開展全方位產(chǎn)學(xué)研合作。公司總部設(shè)在廣州市南沙區(qū),現(xiàn)有廣州、中山、濟(jì)南三大生產(chǎn)基地,形成了碳化硅單晶爐制造、碳化硅粉料制備、碳化硅單晶生長和襯底制備等完整的生產(chǎn)線。公司產(chǎn)品涵蓋導(dǎo)電型、半絕緣型、光學(xué)級碳化硅晶片,尺寸覆蓋4英寸至12英寸多規(guī)格,可視市場要求不斷豐富產(chǎn)品線。碳化硅單晶材料作為新基建的戰(zhàn)略性材料十分重要。公司將立足粵港澳大灣區(qū),力爭發(fā)展成為全國乃至全球馳名的碳化硅半導(dǎo)體材料公司。 

報(bào)告前瞻

報(bào)告題目:8/12英寸碳化硅單晶襯底材料的研究進(jìn)展

報(bào)告摘要:碳化硅(SiC)作為第三代寬禁帶半導(dǎo)體的核心材料之一,具有高擊穿場強(qiáng)、高飽和電子漂移速率、高熱導(dǎo)率、化學(xué)穩(wěn)定性好等優(yōu)良特性,是制作高壓、大功率、高頻、高溫和抗輻射新型功率半導(dǎo)體器件的理想材料,廣泛應(yīng)用于電動汽車、軌道交通、高壓輸變電、光伏、5G通訊等領(lǐng)域,在國防和新舊動能轉(zhuǎn)換等戰(zhàn)略領(lǐng)域起著關(guān)鍵作用,成為全球半導(dǎo)體技術(shù)和產(chǎn)業(yè)競爭焦點(diǎn)。當(dāng)前國際SiC材料、器件實(shí)現(xiàn)了從研發(fā)到規(guī)模性量產(chǎn)的成功跨越,已進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化快速發(fā)展階段。對于SiC產(chǎn)業(yè)來說,下一步的發(fā)展重點(diǎn)在于降本增效。當(dāng)前在功率器件應(yīng)用方面,8英寸可以帶來單片芯片數(shù)量的提升、提高產(chǎn)出率,以及降低邊緣芯片的比例,從而提升晶圓利用率,助力全產(chǎn)業(yè)鏈降本,SiC襯底主流尺寸正在加速向8英寸過渡,我國SiC研究近年來取得了顯著進(jìn)步,當(dāng)前8英寸SiC襯底在性能指標(biāo)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程方面追平國際先進(jìn)水平。近期,AR眼鏡和高端IC封裝等新應(yīng)用場景也對SiC晶片提出超大尺寸12英寸需求。自SiC行業(yè)逐步踏入8英寸時代后,業(yè)界探索的腳步并未停歇,12英寸襯底的開發(fā)成為國內(nèi)外SiC襯底廠商新的競爭焦點(diǎn),可喜的是國內(nèi)研究機(jī)構(gòu)及企業(yè)已在研發(fā)端邁出重要步伐。報(bào)告主要介紹廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司聯(lián)合山東大學(xué)近期大尺寸SiC單晶襯底的研究進(jìn)展。

附會議信息: 

【會議時間】 2025年9月26-28日

【會議地點(diǎn)】云南·昆明 

【指導(dǎo)單位】

  第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)

  中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)

【主辦單位】

  云南臨滄鑫圓鍺業(yè)股份有限公司

 極智半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)(www.vipanp.cn)

 半導(dǎo)體照明網(wǎng)(www.china-led.net)

 第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

【承辦單位】

云南鑫耀半導(dǎo)體材料有限公司

北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司

【支持單位】

賽迪智庫集成電路研究所

 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所

 云南大學(xué)

 山東大學(xué)

 云南師范大學(xué)

 昆明理工大學(xué)

 晶體材料全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

.....

【關(guān)鍵材料】

1、鍺、硅、砷化鎵、磷化銦等半導(dǎo)體材料生長與加工關(guān)鍵技術(shù)、器件工藝及應(yīng)用研究;

2、氮化鎵、碳化硅等第三代半導(dǎo)體材料生長與加工關(guān)鍵技術(shù)、器件工藝及應(yīng)用研究;

3、氮化鋁、金剛石、氧化鎵等超寬禁帶半導(dǎo)體材料生長與加工關(guān)鍵技術(shù)、器件工藝及應(yīng)用研究;

【主要方向】

1.化合物半導(dǎo)體單晶與外延材料

(砷化鎵,磷化銦,氮化鎵,碳化硅,氮化鋁,氧化鎵,氮化硼,藍(lán)寶石,鈮酸鋰等晶體、外延生長及模擬設(shè)計(jì)等)

2. 硅、高純鍺及鍺基材料

(大硅片生長及及應(yīng)用,直拉法或區(qū)熔法等單晶生長,原料提純,GeSi、GeSn、GeC 等多元單晶薄膜,切片與機(jī)械拋光,摻雜調(diào)控離子注入等) 

3.高純金屬、原輔料制備及晶體外延生長與加工關(guān)鍵裝備

(高純前驅(qū)體,高純試劑,高純氣體,高純粉體, 長晶爐,MOCVD,  MBE, LPE,PVT 等外延生長裝備,Mo源,MBE 源, 石墨,切割,研磨及拋光設(shè)備與材料,檢測設(shè)備等)

4.測試評價及AI for Science

(AI 驅(qū)動的測試評價革新, 缺陷工程與摻雜策略、晶體生長智能調(diào)控、缺陷實(shí)時檢測與修復(fù),多尺度建模,綠色制造優(yōu)化 等)

5.光電子器件工藝與應(yīng)用

(發(fā)光二極管,激光二極管,光電探測器件,太陽能電池,照明與顯示,激光雷達(dá),光通信,量子技術(shù)等)

6.通訊射頻器件工藝與應(yīng)用

(功率放大器,低噪聲放大器,濾波器,開關(guān)器件,移動通信,衛(wèi)星通信,低空飛行器,無人機(jī),射頻能量等)

7.能源電子及應(yīng)用

(風(fēng)電&光伏&儲能新能源,電動汽車,數(shù)據(jù)中心,工業(yè)電源,電機(jī)節(jié)能,軌道交通,智能電網(wǎng),航空航天,工業(yè)控制,變頻家電,消費(fèi)電子,儀器儀表等)

8.綠色廠務(wù)及質(zhì)量管控

(潔凈廠房,高純水制備,化學(xué)品供應(yīng),特氣供應(yīng),廢氣處理及排放,廢液處理,大宗氣體供應(yīng)及質(zhì)量管控等)

【程序委員會】

大會主席:惠峰 (云南鍺業(yè))

副主席:陳秀芳(山東大學(xué))、趙璐冰(CASA)

委員:趙德剛(中科院半導(dǎo)體所)、康俊勇(廈門大學(xué))、 徐寶強(qiáng)(昆明理工)、皮孝東(浙江大學(xué))、耿博(CASA)、王軍喜(中科院半導(dǎo)體所)、孫錢(中科院蘇州納米所)、王垚浩(南砂晶圓)、 涂潔磊(云師大)、王宏興(西交大)、彭燕(山東大學(xué))、李強(qiáng)(西交大)、寧靜(西電)、修向前(南京大學(xué))、郭杰(云師大)、王茺(云南大學(xué))、邱峰(云南大學(xué))、楊杰(云南大學(xué))、謝自力(南京大學(xué))、葛振華(昆明理工大學(xué))、田陽(昆明理工大學(xué))、魏同波(中科院半導(dǎo)體所)、許福軍(北京大學(xué))、徐明升(山東大學(xué))、孫海定(中國科學(xué)技術(shù)大學(xué))、田朋飛(復(fù)旦大學(xué))、劉玉懷(鄭州大學(xué))、朱振(浪潮華光)、楊曉光(中科院半導(dǎo)體所)、高娜(廈門大學(xué))、陳飛宏(云南鍺業(yè))、康森(天通控股)、解楠(賽迪研究院 )、房玉龍(中電科十三所)、鄧家云(昆明理工大學(xué))、李寶學(xué)(云鍺紅外) ......等

【日程安排】

日程

【擬參與單位】

中科院半導(dǎo)體所、鑫耀半導(dǎo)體,南砂晶圓,藍(lán)河科技,天通控股,中電科十三所,南京大學(xué),廈門大學(xué),士佳光子,云鍺紅外,昆明理工大學(xué),西安電子科技大學(xué),中科院物理所,中電科四十八所,陜西源杰,九峰山實(shí)驗(yàn)室,中微公司,矢量集團(tuán),晶盛機(jī)電,連科半導(dǎo)體,晶澳太陽能  美科太陽能 高景太陽能   中研科精密 華夏芯智慧光子,國聯(lián)萬眾,凝慧電子,晶湛半導(dǎo)體,英諾賽科,中光睿華,連城數(shù)控,云南大學(xué),阿特斯陽光電力,山東大學(xué),云南師范大學(xué),中科院技物所,隆基電磁, 晶鎵半導(dǎo)體,南砂晶圓、西安聚能超導(dǎo),蘇州納維,中科院物理所,浙江大學(xué),云南鍺業(yè),通美晶體,三安光電,電子科技大學(xué),深圳平湖實(shí)驗(yàn)室,中科院長春光機(jī)所,廣東工業(yè)大學(xué),南方科技大學(xué), 隆基綠能,合盛硅業(yè),中光睿華,復(fù)旦大學(xué),中國科學(xué)技術(shù)大學(xué), 西安交通大學(xué),江蘇第三代半導(dǎo)體研究院, 光迅科技,鎵和半導(dǎo)體 全磊光電 新易盛  昆明物理所,科友半導(dǎo)體,STR,河北同光,香港科技大學(xué),深圳納設(shè) 中科院蘇州納米所,中科院上海光機(jī)所,哈工大等等 

【活動參與】

1、注冊費(fèi):會議通票2800元;早鳥票:9月20日前注冊報(bào)名2600元;(含會議資料袋,9月27日午餐、晚宴,9月28日午餐等 )。

2、繳費(fèi)方式:

①銀行匯款

開戶行:中國銀行北京科技會展中心支行

賬 號:336 356 029 261

名 稱:北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司 

②在線注冊

報(bào)名二維碼

掃碼注冊報(bào)名

③現(xiàn)場繳費(fèi)(微信+支付寶)

【論文投稿及報(bào)告咨詢】

賈老師:18310277858,jiaxl@casmita.com 

李老師:18601994986,linan@casmita.com 

【參會參展及商務(wù)合作】

賈先生:18310277858,jiaxl@casmita.com 

張女士:13681329411,zhangww@casmita.com 

【會議酒店】

酒店名稱:昆明億壕城堡溫德姆至尊酒店

酒店地址:中國(云南)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)昆明片區(qū)經(jīng)開區(qū)楓丹白露花園

協(xié)議價格:430元/晚(含雙早)

酒店預(yù)定聯(lián)系: 陳經(jīng)理,13759452505(微信同號)

郵箱:13759452505@139.com

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