9月26-28日,“2025新一代半導體晶體材料技術(shù)及應用大會”將在云南昆明舉辦。屆時,廈門大學物理科學與技術(shù)學院助理教授林光楊受邀將出席會議,并帶來《硅基IV族半導體材料異質(zhì)集成及其光電器件》的主題報告,分享最新相關(guān)趨勢,敬請關(guān)注!
嘉賓簡介
林光楊,廈門大學助理教授。2018年獲廈門大學微電子學與固體電子學博士學位,之后在美國特拉華大學電子與計算機工程系從事博士后研究,2021年入職廈門大學物理系, 加盟廈門大學硅基光電子材料與器件課題組。主要從事硅基IV族半導體材料外延及其光電器件研制、硅/III-V族半導體材料異質(zhì)鍵合及其光電器件研究。以第一作者/通訊作者在ACS Photonics、Advanced Optical Materials、 Nanophotonics、Applied Physics Letters等期刊上發(fā)表論文四十余篇。主持、參與國家自然科學基金、國家重點研發(fā)計劃等課題。獲選福建省高層次人才、廈門市高層次人才、廈門市高層次留學人才。擔任《半導體光電》期刊青年編委,多次在“材料科學、工程與技術(shù)國際會議”、“全國半導體物理學術(shù)會議”等國內(nèi)外會議做邀請報告。
單位簡介
廈門大學硅基光電子材料與器件課題組屬廈門大學物理系、廈門大半導體光子學研究中心,是一個集硅基半導體材料生長、半導體光電子器件基礎(chǔ)理論與工藝研究于一體的研究團隊。課題組成員有陳松巖教授、李成教授、張雅婷教授、黃巍副教授、李俊助理教授、林光楊助理教授、汪建元、徐劍芳兩位工程師以及40多名碩、博士研究生,課題組主要開展的研究工作:(1)硅基鍺、鍺硅、鍺錫、鍺鉛等IV族材料外延及其光電器件研究;(2)硅/III-V族材料異質(zhì)鍵合及其光電器件研究;(3)硅基負極復合材料儲能器件研究。
報告題目:硅基IV族半導體材料異質(zhì)集成及其光電器件
報告摘要:硅材料具有成本低、集成度高等優(yōu)勢,但受能帶結(jié)構(gòu)和禁帶寬度限制,無法實現(xiàn)有效發(fā)光,且光探測波長不超過1.1微米,限制了其在光電領(lǐng)域的應用。硅基鍺、鍺錫等IV族材料相比硅具有更高的載流子遷移率、更長的截止波長,在硅基光電集成領(lǐng)域有著重要的應用前景。然而,它們與硅的晶格失配和熱失配大,如何實現(xiàn)高質(zhì)量硅基鍺、鍺錫等IV族材料的異質(zhì)集成仍是一個巨大的挑戰(zhàn)。報告將基于分子束外延(MBE)、超高真空化學氣相沉積(UHVCVD)、超高真空濺射外延、異質(zhì)鍵合等技術(shù)介紹高質(zhì)量硅基鍺、鍺錫薄膜的制備,并展示其在高性能光電器件的應用。采用低、高溫兩步外延法,在硅襯底上外延獲得穿透位錯密度(TDD)為~106/cm2的鍺薄膜。通過生長動力學調(diào)控,利用MBE和高溫濺射外延在非平衡外延條件下獲得高質(zhì)量硅基鍺錫薄膜的制備?;阪N和低熔點III/V族金屬共濺射外延的策略,實現(xiàn)了鍺的低溫高效原位摻雜,并研制出關(guān)鍵性能指標國際領(lǐng)先的鍺、鍺錫短波紅外光電探測器。采用Smart-cut技術(shù),利用中間層鍵合技術(shù)獲得了TDD<105/cm2的高質(zhì)量硅基鍺薄膜,研制出3dB帶寬22.5GHz的硅基鍺垂直PIN光電探測器,制備了高性能絕緣層上鍺材料橫向PIN光電探測器線陣和320×256面陣,并實現(xiàn)短波紅外成像演示。
附會議信息:
【會議時間】 2025年9月26-28日
【會議地點】云南·昆明
【指導單位】
第三代半導體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)
中關(guān)村半導體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)
【主辦單位】
云南臨滄鑫圓鍺業(yè)股份有限公司
極智半導體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)(www.vipanp.cn)
半導體照明網(wǎng)(www.china-led.net)
第三代半導體產(chǎn)業(yè)
【承辦單位】
云南鑫耀半導體材料有限公司
北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進中心有限公司
【支持單位】
賽迪智庫集成電路研究所
中國科學院半導體研究所
云南大學
山東大學
云南師范大學
昆明理工大學
晶體材料全國重點實驗室
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【關(guān)鍵材料】
1、鍺、硅、砷化鎵、磷化銦等半導體材料生長與加工關(guān)鍵技術(shù)、器件工藝及應用研究;
2、氮化鎵、碳化硅等第三代半導體材料生長與加工關(guān)鍵技術(shù)、器件工藝及應用研究;
3、氮化鋁、金剛石、氧化鎵等超寬禁帶半導體材料生長與加工關(guān)鍵技術(shù)、器件工藝及應用研究;
【主要方向】
1.化合物半導體單晶與外延材料
(砷化鎵,磷化銦,氮化鎵,碳化硅,氮化鋁,氧化鎵,氮化硼,藍寶石,鈮酸鋰等晶體、外延生長及模擬設計等)
2. 硅、高純鍺及鍺基材料
(大硅片生長及及應用,直拉法或區(qū)熔法等單晶生長,原料提純,GeSi、GeSn、GeC 等多元單晶薄膜,切片與機械拋光,摻雜調(diào)控離子注入等)
3.高純金屬、原輔料制備及晶體外延生長與加工關(guān)鍵裝備
(高純前驅(qū)體,高純試劑,高純氣體,高純粉體, 長晶爐,MOCVD, MBE, LPE,PVT 等外延生長裝備,Mo源,MBE 源, 石墨,切割,研磨及拋光設備與材料,檢測設備等)
4.測試評價及AI for Science
(AI 驅(qū)動的測試評價革新, 缺陷工程與摻雜策略、晶體生長智能調(diào)控、缺陷實時檢測與修復,多尺度建模,綠色制造優(yōu)化 等)
5.光電子器件工藝與應用
(發(fā)光二極管,激光二極管,光電探測器件,太陽能電池,照明與顯示,激光雷達,光通信,量子技術(shù)等)
6.通訊射頻器件工藝與應用
(功率放大器,低噪聲放大器,濾波器,開關(guān)器件,移動通信,衛(wèi)星通信,低空飛行器,無人機,射頻能量等)
7.能源電子及應用
(風電&光伏&儲能新能源,電動汽車,數(shù)據(jù)中心,工業(yè)電源,電機節(jié)能,軌道交通,智能電網(wǎng),航空航天,工業(yè)控制,變頻家電,消費電子,儀器儀表等)
8.綠色廠務及質(zhì)量管控
(潔凈廠房,高純水制備,化學品供應,特氣供應,廢氣處理及排放,廢液處理,大宗氣體供應及質(zhì)量管控等)
【程序委員會】
大會主席:惠峰 (云南鍺業(yè))
副主席:陳秀芳(山東大學)、趙璐冰(CASA)
委員:趙德剛(中科院半導體所)、康俊勇(廈門大學)、 徐寶強(昆明理工)、皮孝東(浙江大學)、耿博(CASA)、王軍喜(中科院半導體所)、孫錢(中科院蘇州納米所)、王垚浩(南砂晶圓)、 涂潔磊(云師大)、王宏興(西交大)、彭燕(山東大學)、李強(西交大)、寧靜(西電)、修向前(南京大學)、郭杰(云師大)、王茺(云南大學)、邱峰(云南大學)、楊杰(云南大學)、謝自力(南京大學)、葛振華(昆明理工大學)、田陽(昆明理工大學)、魏同波(中科院半導體所)、許福軍(北京大學)、徐明升(山東大學)、孫海定(中國科學技術(shù)大學)、田朋飛(復旦大學)、劉玉懷(鄭州大學)、朱振(浪潮華光)、楊曉光(中科院半導體所)、高娜(廈門大學)、陳飛宏(云南鍺業(yè))、康森(天通控股)、解楠(賽迪研究院 )、房玉龍(中電科十三所)、鄧家云(昆明理工大學)、李寶學(云鍺紅外) ......等
【日程安排】
【擬參與單位】
中科院半導體所、鑫耀半導體,南砂晶圓,藍河科技,天通控股,中電科十三所,南京大學,廈門大學,士佳光子,云鍺紅外,昆明理工大學,西安電子科技大學,中科院物理所,中電科四十八所,陜西源杰,九峰山實驗室,中微公司,矢量集團,晶盛機電,連科半導體,晶澳太陽能 美科太陽能 高景太陽能 中研科精密 華夏芯智慧光子,國聯(lián)萬眾,凝慧電子,晶湛半導體,英諾賽科,中光睿華,連城數(shù)控,云南大學,阿特斯陽光電力,山東大學,云南師范大學,中科院技物所,隆基電磁, 晶鎵半導體,南砂晶圓、西安聚能超導,蘇州納維,中科院物理所,浙江大學,云南鍺業(yè),通美晶體,三安光電,電子科技大學,深圳平湖實驗室,中科院長春光機所,廣東工業(yè)大學,南方科技大學, 隆基綠能,合盛硅業(yè),中光睿華,復旦大學,中國科學技術(shù)大學, 西安交通大學,江蘇第三代半導體研究院, 光迅科技,鎵和半導體 全磊光電 新易盛 昆明物理所,科友半導體,STR,河北同光,香港科技大學,深圳納設 中科院蘇州納米所,中科院上海光機所,哈工大等等
【活動參與】
1、注冊費:會議通票2800元;早鳥票:9月20日前注冊報名2600元;(含會議資料袋,9月27日午餐、晚宴,9月28日午餐等 )。
2、繳費方式:
①銀行匯款
開戶行:中國銀行北京科技會展中心支行
賬 號:336 356 029 261
名 稱:北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進中心有限公司
②在線注冊
掃碼注冊報名
③現(xiàn)場繳費(微信+支付寶)
【論文投稿及報告咨詢】
賈老師:18310277858,jiaxl@casmita.com
李老師:18601994986,linan@casmita.com
【參會參展及商務合作】
賈先生:18310277858,jiaxl@casmita.com
張女士:13681329411,zhangww@casmita.com
【會議酒店】
酒店名稱:昆明億壕城堡溫德姆至尊酒店
酒店地址:中國(云南)自由貿(mào)易試驗區(qū)昆明片區(qū)經(jīng)開區(qū)楓丹白露花園
協(xié)議價格:430元/晚(含雙早)
酒店預定聯(lián)系: 陳經(jīng)理,13759452505(微信同號)
郵箱:13759452505@139.com