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賽微電子：MEMS封測線產(chǎn)能為1萬片/月

一徑科技高性能車規(guī)級長距MEMS激光雷達ML-Xs首次亮相海外市場

美新半導體年產(chǎn)6億顆MEMS芯片/1.2億顆加速度傳感器項目即將投產(chǎn)

賽微電子：深耕MEMS工藝帶來技術優(yōu)勢，MEMS晶圓價格持續(xù)上漲

賽微電子MEMS氣體傳感芯片通過驗證并啟動小批量試產(chǎn)

MEMS和功率器件代工廠中芯集成IPO申請過會募資125億元

賽微電子：公司瑞典及北京MEMS產(chǎn)線均正推進各類MEMS芯片量產(chǎn)等工作

搶先看！第四屆中國MEMS制造大會暨微納制造與傳感器展覽會最新進展

后疫情時代,中國MEMS企業(yè)如何破局?且看中國MEMS制造大會!

銳石創(chuàng)芯MEMS器件生產(chǎn)基地新建項目一期主廠房結構封頂

賽微電子：公司瑞典及北京產(chǎn)線均在開展激光雷達MEMS振鏡的工藝開發(fā)業(yè)務

博世：追加2.96億美元投資，擴產(chǎn)MEMS

MEMS傳感器廠商北立傳感完成近千萬元A輪融資

博藍特獲中兵順景投資，將建設第三代半導體研發(fā)中心及MEMS封裝線

一徑科技與元戎啟行達成戰(zhàn)略合作，引領自動駕駛量產(chǎn)新格局

賽微電子擬51億投建12吋MEMS制造線半導體業(yè)務比重超95%向“量產(chǎn)工廠”轉變

華東光電集成器件研究所展明浩：MEMS傳感器發(fā)展現(xiàn)狀及在自動駕駛中的應用

北京一徑科技邵嘉平：MEMS LiDAR將主導未來車載激光雷達商業(yè)化落地

中微公司：公司計劃擴展在泛半導體領域設備的應用，布局顯示、MEMS、功率器件、太陽能領域的關鍵設備

MEMS全球市場格局和技術趨勢分析

壓電MEMS廠商Vesper獲新一輪投資，融資總額達7300萬美元

華芯拓遠天津二期工廠建設計劃已啟動瞄準MEMS慣性器件研發(fā)

拜安科技完成A輪融資研發(fā)MEMS光纖傳感器

賽微電子：MEMS晶圓上半年平均售價上漲至約3600美元/片

對話科創(chuàng)板掌門人 | 敏芯股份李剛：MEMS傳感器是中國的一個產(chǎn)業(yè)機遇

德國半導體巨頭英飛凌推出MEMS光學模組可深度應用于AR領域

北方華創(chuàng)、賽微電子等組建，北京一工程研究中心獲批，涉及先進MEMS工藝研發(fā)

MEMS傳感器廠商矽睿科技接受上市輔導

日本研發(fā)新型具有高溫度穩(wěn)定性的氮化鎵MEMS諧振器

敏芯股份張辰良：MEMS自主可控的機遇與挑戰(zhàn)

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