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面向SiC功率器件的裝備與工藝解決方案NAURA Solutions for SiC Power Devices張軼銘北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司Zhang YimingBeijing NAURA Microelectronics Equipment Co.,Ltd

SiC功率器件制造裝備技術(shù)及發(fā)展趨勢(shì)Technology and development trends of SiC power devices manufacturing equipment鞏小亮中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所、半導(dǎo)體裝備研究部主任Xiaoliang GONGDirector of Semiconductor equipment research department, The 48th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation

用于藍(lán)綠光Mini/Micro-LED生產(chǎn)的MOCVD新型裝備Blue/Green Mini and Micro-LEDs Grown on Large Size Substrates for Advanced Display Applications陳耀中微公司MOCVD工藝總監(jiān)Yao CHENDirector of MOCVD Process Technology，Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China

主題對(duì)話環(huán)節(jié)，北京大學(xué)沈波教授主持下，中科院半導(dǎo)體所研究員趙德剛，中微半導(dǎo)體公司副總裁兼MOCVD產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理郭世平，清華大學(xué)長(zhǎng)聘副教授汪萊，中科院蘇州納米所研究員孫錢(qián)，南京大學(xué)教授陳鵬，中科院長(zhǎng)春光機(jī)所研究員孫曉娟，南京大學(xué)教授陸海，江南大學(xué)教授敖金平，中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)微電子學(xué)院執(zhí)行院長(zhǎng)、教授龍世兵，浙江大學(xué)研究員、電力電子技術(shù)研究所副所長(zhǎng)楊樹(shù)，中科院微電子研究所研究員黃森等學(xué)界、業(yè)界中青代骨干

SiC功率器件制造工藝特點(diǎn)與核心裝備創(chuàng)新進(jìn)展Manufacturing process characteristics and key equipment development of SiC power devices鞏小亮中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所 半導(dǎo)體裝備研究部副主任GONGXiaoliang Deputy director of Semiconductor equipment research department, the 48th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation

中電科電子裝備集團(tuán)有限公司離子注入機(jī)技術(shù)總監(jiān)張叢分享了《國(guó)產(chǎn)離子注入機(jī)發(fā)展及應(yīng)用》主題報(bào)告。

本期嘉賓無(wú)錫邑文電子科技有限公司總經(jīng)理廖海濤為大家?guī)?lái)《半導(dǎo)體裝備主題報(bào)告（一）半導(dǎo)體二手裝備市場(chǎng)評(píng)估與翻新標(biāo)準(zhǔn)化》