1月19日，晶瑞股份（300655.SZ）發(fā)布了“關(guān)于購買光刻機設(shè)備進(jìn)展情況的公告”。公告表示，為開展集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目，“經(jīng)公司多方協(xié)商、積極運作，順利購得ASMLXT1900Gi型光刻機一臺。”
晶瑞股份對媒體透露，“公司目前正在生產(chǎn)和銷售的半導(dǎo)體光刻膠主要包括I 線和G 線光刻膠，此外還有印制電路板（PCB）和液晶顯示器（LCD）光刻膠等；購買的光刻機主要用于未來高端半導(dǎo)體光刻機的研發(fā)。”
上述公告亦顯示，該臺光刻機已于2021年1月19日運抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發(fā)實驗室，下一步，公司將積極組織相關(guān)資源，盡快完成設(shè)備的安裝調(diào)試工作。
關(guān)于購買該設(shè)備的背景，公告則稱：目前高端集成電路材料的核心產(chǎn)業(yè)化技術(shù)仍掌握在國外企業(yè)手中，大部分市場份額仍被外企所占據(jù)，不少集成電路用關(guān)鍵材料已經(jīng)成為我國“卡脖子”的技術(shù)領(lǐng)域，在國際環(huán)境日益嚴(yán)峻的情況下，如不能成功實現(xiàn)該領(lǐng)域的國產(chǎn)化，未來將付出更大的代價。公司完成中試的KrF光刻膠已進(jìn)入客戶測試階段，達(dá)到0.15μm的分辨率。本次購買的ASML光刻機設(shè)備系公司集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目的必要實驗設(shè)備，旨在研發(fā)出更高端的ArF光刻膠，若研發(fā)工作進(jìn)展順利，將有助于公司將光刻膠產(chǎn)品序列實現(xiàn)到ArF光刻膠的跨越，并最終實現(xiàn)應(yīng)用于12英寸芯片制造的戰(zhàn)略布局。
有關(guān)光刻機的具體研發(fā)用途，晶瑞股份還進(jìn)一步表示：“公司采購的光刻機設(shè)備為ASMLXT1900Gi型ArF浸入式光刻機，可用于研發(fā)最高分辨率達(dá)28nm的高端光刻膠。”
當(dāng)天，為了迎接這臺光刻機，晶瑞股份還現(xiàn)場舉行了搬入儀式。晶瑞股份董事長吳天舒在現(xiàn)場講話中表示：“浸沒式光刻機是高端光刻膠研發(fā)的關(guān)鍵設(shè)備，盡管投入巨大，晶瑞股份還是下定決心購買。為解決集成電路制造領(lǐng)域關(guān)鍵材料“卡脖子”問題，加速高端ArF光刻膠研發(fā)，建立研發(fā)平臺，公司后續(xù)還將購置其他相關(guān)輔助設(shè)備，并盡早完成設(shè)備的安裝調(diào)試，投入使用。”
消息發(fā)酵后，在尺度的股東群引起了熱議，投資者對此看法不一。
樂觀方認(rèn)為，雖然這臺光刻機不是最先進(jìn)，但對于晶瑞股份或者中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言卻是意義非凡。公開數(shù)據(jù)顯示，歐美、日本企業(yè)在光刻膠領(lǐng)域長期處于壟斷地位，前五大廠商占據(jù)了全球光刻膠市場87%的份額。由于國內(nèi)光刻膠發(fā)展起步較晚，生產(chǎn)能力主要集中于PCB光刻膠、TN/STN-LCD光刻膠等中低端產(chǎn)品，而TFT-LCD、半導(dǎo)體光刻膠等高端產(chǎn)品依賴大量進(jìn)口。
但謹(jǐn)慎方認(rèn)為它是臺二手貨，并不那么看好。據(jù)媒體報道，晶瑞股份購買的這臺光刻機設(shè)備為十年前的產(chǎn)品。當(dāng)初由無錫SK海力士購入，但因為SK海力士工廠起火，更換了制程，這些設(shè)備被運到韓國。晶瑞股份購買的這臺設(shè)備就是其中之一。
晶瑞股份購買二手光刻機設(shè)備最早得追溯至去年9月份。
2020年9月29日，晶瑞股份公告稱，為開展集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目，公司擬斥資1102.5萬（約為人民幣7508萬元）美元購買一臺ASML（阿斯麥）光刻機。當(dāng)日，其股價大漲20.04%（漲停），市值暴增超13億元。
股價暴漲引起監(jiān)管層注意。2020年9月30日，深交所對其下發(fā)關(guān)注函，要求公司說明擬購買光刻機設(shè)備的具體用途、資金來源，以及擬購買光刻機設(shè)備型號等問題。
晶瑞股份在回復(fù)深交所關(guān)注函時表示，本次擬購買的光刻機設(shè)備將用于公司集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目，將有助于公司將光刻膠產(chǎn)品序列實現(xiàn)到ArF 光刻膠的跨越，并最終實現(xiàn)應(yīng)用于12英寸芯片制造的戰(zhàn)略布局。預(yù)計 2021 年上半年內(nèi)完成運輸并安裝完畢。
晶瑞股份工作人員曾接受采訪時表示，所購買的光刻機為二手設(shè)備，主要用途是研究而非生產(chǎn)制造。
市場炒作晶瑞股份股價的邏輯是光刻膠國產(chǎn)替代化，但買入光刻機設(shè)備并不意味著能立即帶來積極效果。
事實上，光刻機維護成本較高。有業(yè)內(nèi)人士表示，“一臺光刻機就花了1000多萬美元，還要購置涂布顯影機、缺陷檢驗設(shè)備、膜厚檢測機臺等一系列相關(guān)輔助設(shè)備，還要建設(shè)潔凈室……ArF光刻膠研發(fā)要大幾億元的投入。”晶瑞股份也提示風(fēng)險稱，該光刻機設(shè)備價格昂貴，其折舊及后續(xù)維護費用預(yù)計對公司的經(jīng)營業(yè)績存在一定影響。
