近日，東方晶源舉行國內(nèi)首臺關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備（CD-SEM）出機儀式，正式宣布斬獲訂單并出機中芯國際。

此次出機的關(guān)鍵尺寸量測設(shè)備（型號：SEpA-c410）面向300mm（12英寸）硅片工藝制程，可實現(xiàn)高重復(fù)精度、高分辨率及高產(chǎn)能的關(guān)鍵尺寸量測。進駐中芯國際后，將通過實際產(chǎn)線驗證，進一步提升、完善設(shè)備性能，向產(chǎn)業(yè)化目標整體邁進。