韓國8英寸SiC單晶爐成功國產(chǎn)化！

 

來源：化合物半導體市場    原作者：Jenny    2022-06-15 10:23:04

 

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半導體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)獲悉，據(jù)韓媒報道，韓國ESTech已成功實現(xiàn)SiC晶錠生長設備的國產(chǎn)化，并計劃向韓國功率半導體材料廠商Senic供應首臺設備?，F(xiàn)階段，雙方正在加快以SiC業(yè)務滲透市場。

 

據(jù)悉，SiC晶錠PVT生長設備對于制造SiC晶錠來說至關重要，而到目前為止，美國、日本和歐洲設備廠商占據(jù)了主導地位，而且僅價格本身就可達數(shù)百億韓元。為此，韓國本土廠商也在積極尋求關鍵技術和產(chǎn)品的國產(chǎn)化替代，打破國外廠商長期壟斷的局面。

 

在此背景下，ESTech決定自主開發(fā)SiC PVT設備，以應對強勁的功率半導體市場需求和SiC產(chǎn)品需求，并助力SiC設備的國產(chǎn)化?；诎雽w晶圓設備制造經(jīng)驗，ESTech聚焦韓國國產(chǎn)器件領域，采用精密控制技術開發(fā)SiC生長成套設備，并確保機械可靠性。

 

據(jù)介紹，ESTech開發(fā)的設備能夠生產(chǎn)8英寸單晶SiC晶錠，大于目前市場主流的4英寸和6英寸晶錠。該公司已于12日宣布將于今年下半年向Senic供應SiC晶錠PVT生長爐。

 

報道顯示，ESTech向全球眾多晶圓制造商供應單晶硅晶錠PVT設備，積極聯(lián)合本地和外國企業(yè)開發(fā)8英寸、12英寸單晶硅晶錠PVT生長設備，借此逐步確立了市場地位，技術能力也獲得了廣泛的認可。

 

本次SiC設備的成功國產(chǎn)化也得益于其在硅晶錠PVT生長爐市場所積累的技術和經(jīng)驗。隨著ESTech進軍SiC市場，ESTech預計將擴大設備產(chǎn)品組合，多元化利潤增長渠道。

 

作為合作方，Senic正在開發(fā)SiC襯底產(chǎn)品以滿足功率半導體客戶及電動汽車市場客戶的需求，并表示將聯(lián)合國內(nèi)企業(yè)共同為振興韓國SiC材料市場添磚加瓦。

 

Senic據(jù)稱是韓國唯一一家擁有6英寸SiC襯底生產(chǎn)工藝技術的企業(yè)。去年，Senic向SKC采購SiC材料技術和設備，并獲得SiC相關人力資源支持，主要生產(chǎn)電動汽車用的高附加值SiC襯底。本月初，Senic宣布其6英寸SiC襯底工廠開始全面投產(chǎn)，目標在2024年下半年市場相關產(chǎn)品的量產(chǎn)。

 

現(xiàn)階段，Senic決定與ESTech合作，實現(xiàn)單晶SiC襯底的大規(guī)模生產(chǎn)。通過強強聯(lián)合，ESTech也成功開發(fā)了8英寸SiC晶錠生長設備。據(jù)悉，雙方目前正在對原型產(chǎn)品展開測試工作。

 

韓媒表示，若Senic采用ESTech的設備開始量產(chǎn)SiC襯底，那么此次雙方的合作將對韓國那些合力發(fā)展下一代功率半導體的企業(yè)起到示范作用。從宏觀的角度來看，兩大實力企業(yè)的合作也符合韓國目前在發(fā)展新興產(chǎn)業(yè)方面的戰(zhàn)略。

 

近兩年來，韓國高舉SiC/GaN第三代半導體產(chǎn)業(yè)大旗，從政策上不斷加大“籌碼”，貫通全產(chǎn)業(yè)鏈，完善上下游的布局，旨在增強韓國在全球第三代半導體市場的話語權。例如，韓國今年正式成立了SiC產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，全方位發(fā)力功率半導體市場。

 

在此背景下，8英寸SiC單晶生長設備的國產(chǎn)化對于韓國來說的確有著重要的意義，表明韓國在第三代半導體領域又取得了一項突破性的進展。對于其他國家來說，此舉也有可能加速各國在SiC領域的國產(chǎn)化進程，從而在一定程度上改變原有的競爭格局。